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- カテゴリ:研究者
- 発行年月:1997.2
- 出版社: オーム社
- サイズ:22cm/309p
- 利用対象:研究者
- ISBN:4-274-02332-X
- 国内送料無料
紙の本
超微細加工技術 (応用物理学シリーズ 専門コース)
著者 徳山 巍 (編著)
1.序論 2.光リソグラフィ技術 3.電子線リソグラフィ技術 4.イオンビームリソグラフィ技術 5.X線リソグラフィ技術 6.レジスト材料 7.エッチング技術 8.形状シ...
超微細加工技術 (応用物理学シリーズ 専門コース)
税込
7,150
円
65pt
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商品説明
1.序論 2.光リソグラフィ技術 3.電子線リソグラフィ技術 4.イオンビームリソグラフィ技術 5.X線リソグラフィ技術 6.レジスト材料 7.エッチング技術 8.形状シミュレーション技術 ほか1章【「TRC MARC」の商品解説】
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